產(chǎn)品中心
H9820D-G
- 應(yīng)用領(lǐng)域：類載板（IC）、HDI、軟硬結(jié)合板等
適用制程：內(nèi)、外層
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技術(shù)特點
- 分區(qū)漲縮
高智能化
自動實時對焦
能量自動監(jiān)測
高解析、高精度、高對準
設(shè)備參數(shù)
- 最小線寬/距：10/10μm
產(chǎn)能：20秒/面@60mj/c㎡@24inch
對位精度：±8μm
層間對位精度：16μm
最大板尺寸：24.8"*28.8"
景深：±100μm
拼接：≤1.3μm
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